氮化镓碳化硅晶圆检测

自 1997 年推出 Candela 光学表面分析仪 (OSA) 以来，我们的技术专家一直在为化合物半导体和数据存储市场做出缺陷检测灵敏度和分类方面的关键技术创新。在每个新产品发布时，我们的检测技术均会为其提供性能方面的改进，其中包括在单个平台将缺陷检测和光致发光量测相结合，这项技术是业界少有的并且具备获奖能力。详细了解Candela 缺陷检测系统丰富多彩的创新发展历史。